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Aligner 晶圆预对准装置是新松公司自主研发的一种晶圆校准装置，用于晶圆进入关键工艺腔体前的晶圆几何中心校正和取向校正，精准识别晶圆的位移和角度偏差，为后续工艺提供了可靠的基准，广泛应用于半导体制造的各个阶段

产品优势

全自研解决方案

核心部件均自主研发

兼容性

可兼容多材质晶圆

适配性

可适配多尺寸晶圆

精准识别

精准识别晶圆的位移与角度偏差

产品参数

晶圆纠偏精度

±0.1mm

晶圆转角精度

±0.2°

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